等离子体清洗系统

       在线式等离子清洗设备主要针对封装工艺过程在引线键合(打线)前进行清洗，去除工件表面微颗粒污染及氧化物，提高表面活性，提高引线键合(打线)能力，防止封装分层。以射频等离子清洗为主要功能，配备自动从料盒内取片、物料传输及送回料盒等辅助功能，实现高自动化等离子清洗，减少人为等因素，降低二次污染及批量式清洗可能出现的损伤几率。
      提供单进气口或双进气口版本以及机载气体混合气管，能够处理多种气体以进行优化处理，包括空气、氧气、氢气、氩气、氮气和许多其他气体。